Picture of Profilomètre mécanique Tencor P16+ (F-FRAI)
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1st Responsible:
Benjamin Reig
2nd Responsible:
Benoît LANTIN
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Description

Le Tencor P16+ est un profilomètre mécanique qui mesure le profil sur une surface. La gamme mesurable est comprise entre quelques dizaines de nanomètre et 300µm.

---English---

Tencor P16+ is a mechanical profilmeter for the measure the profil of your surface. The scale is from nanometer to 300µm.

Details
Tool name:
Profilomètre mécanique Tencor P16+ (F-FRAI)
Area/room:
Caractérisation / Characterization (bat G1)
Category:
Caractérisation / characterization
Manufacturer:
KLA Tencor
Model:
Tencor P16+
Validated processes informations

Il est possible de mesurer des contraintes à partir de la mesure de flêche différentiel d'un wafer dû au dépôt d'une couche et de paraméter des mesures automatiques. La taille maximale d'échantillon est 8".

---English---

It is possible to measure stress with a differential sweep-back measure of a wafer cause by a layer deposition and done automatic measure. We can put 8" wafer inside the machine.

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