Picture of Profilomètre optique LEXT (F-FRAI)
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Le LEXT est un microscope optique confocal permettant la mesure des 3 dimensions XYZ. Il est équipé avec 5 objectifs (x5, x10, x20, x50, x100).

Il peux également possible de programmer un mapping d'un échantillon en 2 ou 3 dimensions.

---English---

LEXT is an confocal optical microscope to measure the 3 dimensions XYZ. It had 5 objectives (x5, x10, x20, x50, x100). It is also possibvle to program a mapping of our sample in 2 or 3 dimensions.

Tool name:
Profilomètre optique LEXT (F-FRAI)
Area/room:
Caractérisation / Characterization (bat G1)
Category:
Caractérisation / characterization
Manufacturer:
Olympus
Model:
OLS LEXT 3100

Le microscope confocal est utilisé pour la mesure de côte latérale, d'épaisseur de couche transparente (en connaissant l'indice) et de marche. La résolution latérale est de 200nm en lumière bleu (laser) et de 10 nm en Z (dépendant de l'objectif utilisé).

---English---

Confocal microscope allow to measure the lateral dimension, the tickness of a transparent layer and the step between two layers. The resolution is around 200nm on XY and 10nm on Z axis (depending about the objective).

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