Picture of Profilomètre optique LEXT (F-FRAI)
Current status:
WARNING
Book | Log| 
Show/Collapse all

Responsibles
1st Responsible:
Benjamin Reig
2nd Responsible:
fabien mesnilgrente
Files
You must be logged in to view files.
Description

Le LEXT est un microscope optique confocal permettant la mesure des 3 dimensions XYZ. Il est équipé avec 5 objectifs (x5, x10, x20, x50, x100).

Il peux également possible de programmer un mapping d'un échantillon en 2 ou 3 dimensions.

---English---

LEXT is an confocal optical microscope to measure the 3 dimensions XYZ. It had 5 objectives (x5, x10, x20, x50, x100). It is also possibvle to program a mapping of our sample in 2 or 3 dimensions.

Details
Tool name:
Profilomètre optique LEXT (F-FRAI)
Area/room:
Caractérisation / Characterization (bat G1)
Category:
Caractérisation / characterization
Manufacturer:
Olympus
Model:
OLS LEXT 3100
Validated processes informations

Le microscope confocal est utilisé pour la mesure de côte latérale, d'épaisseur de couche transparente (en connaissant l'indice) et de marche. La résolution latérale est de 200nm en lumière bleu (laser) et de 10 nm en Z (dépendant de l'objectif utilisé).

---English---

Confocal microscope allow to measure the lateral dimension, the tickness of a transparent layer and the step between two layers. The resolution is around 200nm on XY and 10nm on Z axis (depending about the objective).

Instructors & Licensed Users

Instructors

Licensed Users

Tool Modes
You must be logged in to view tool modes.