Equipement de traitement de surface en milieu CO2 supercritique.

Capacité jusqu'à 2 substrats 200mm.

2 lignes d'injection de précurseurs (nombreuses molécules compatibles).

Pression jusqu'à 140 bar.

English

Surface treatment tool in supercritical CO2 phase.

Up to 2 8" wafers.

2  precursor lines (numerous molecules compatible).

Pressure up to 140 bar.