Picture of FIB Dual Beam (C- FIB)
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1st Responsible:
Benjamin Reig
2nd Responsible:
Franck Carcenac
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Description

L'Hélios 600i est un dual beam composé d'une colonne électronique à balayage haute résolution (FEG Schottky) et d'une colonne ionique (source LMIS Gallium).

Il permet de visualiser un composant, de l'analyser chimiquement (EDX), et également de réaliser des gravures localisées ou des dépôts localisés (Pt, C et SiO2).

---English---

HELIOS is a dual beam consist of a high resolution scanning electronic column (FEG Schottky) and an ionic column (Gallium LMIS).

It allows imaging of your component, chemical analysis with EDS, localized etching and material localized deposition (Pt, C, SiO2).

Details
Tool name:
FIB Dual Beam (C- FIB)
Area/room:
Caractérisation / Characterization (bat G1)
Category:
Caractérisation / characterization
Manufacturer:
FEI
Model:
Helios 600i
Validated processes informations

3 utilisations courantes:

- imagerie avec le MEB haute résolution (1nm dans les meilleures conditions)

- analyse chimique avec l'EDX pour retrouver les composés d'un échantillon

- dépôt /gravure avec le FIB pour lame TEM ou reverse engeenering

 

---English---

3 uses:

- imaging with high resolution SEM

- chemical analysis with EDS

-  deposit or etching with FIB

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