Picture of Polisseuse PM5 MOS (A-POLI)
Current status:
WARNING
Book | Log
Show/Collapse all

1st Responsible:
2nd Responsible:
You must be logged in to view files.

Possibilités de rodage et polissage plans sur différents matériaux (Niobate de Lithium, Silicium, Quartz, PZT, Verre, Langasite … etc.). Le travail se fait sur des wafers ou collages de wafers d’une taille maximale de 4 pouces et d’épaisseur de 1 cm.
Par l’action d’abrasif à base d’alumine diluée pour l’amincissement ou de Silice Colloïdale pour le polissage, la polisseuse Logitech PM5 permet un contrôle en planéité et en épaisseur de bonne qualité.


Possibilités de rodage et polissage plans sur différents matériaux (Niobate de Lithium, Silicium, Quartz, PZT, Verre, Langasite … etc.). Le travail se fait sur des wafers ou collages de wafers d’une taille maximale de 4 pouces et d’épaisseur de 1 cm.
Par l’action d’abrasif à base d’alumine diluée pour l’amincissement ou de Silice Colloïdale pour le polissage, la polisseuse Logitech PM5 permet un contrôle en planéité et en épaisseur de bonne qualité.

 

 

 

Tool name:
Polisseuse PM5 MOS (A-POLI)
Area/room:
Assemblage (Bât G)
Category:
Assemblage / Device mounting
Manufacturer:
Logitech
Model:
PM5

Spécifications:

- Système d'alimentation automatique en abrasif
- Cylindre et mouvement excentrique de la fourche
- Maintien de l'échantillon par le vide
- Equipé d'une tête de rodage et polissage de précision PP6GT
- Diamètre du plateau : 30 cm
- Dimension max des wafers : 4 pouces
- Epaisseur max de l'échantillon : 10 mm
- Précision sur l'épaisseur : 5 µm
- Rugosité obtenue : de l'ordre du nanomètre
- Comparateur à aiguille indiquant la matière enlevée
- Contrôle automatique de la planéité

Instructors

Licensed Users

You must be logged in to view tool modes.