Le MEB VERIOS 5 UC est un microscope électronique à balayage haute résolution (FEG à cathode Schotky) pour l'analyse des composants lors des process de fabrication. Il est équipé de deux détecteurs EDX.

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The SEM VERIOS 5 UC is an high resolution Scanning Electron Microscope (Schotky FEG) for the analysis of component during the production step. He is equiped with 2 EDX system.