L’équipement FR scanner de thetametrisis présent au LAAS est installé depuis Décembre 2023. C'est un système pour la mesure d’épaisseurs de films, comme des épaisseurs de résines pendant une opération de photolithographie.

The thetametrisis FR scanner at LAAS has been installed since December 2023. It is a system for measuring film thicknesses, such as resist thicknesses, during a photolithography operation.