Le nettoyage mégasonique utilise des fréquences plus élevées et produit une cavitation contrôlée. 
En conséquence, les dommages causés par la cavitation sont minimisés dans les bains mégasoniques.
Dans les appareils à ultrasons, la cavitation se produit dans tout le réservoir et tous les côtés des pièces immergées sont nettoyés.