Le Tencor P17 est un profilomètre mécanique pour l'analyse du profil d'une surface. Il permet de mesurer des épaisseurs allant de la dizaine de nanomètre à 300µm sur des longueurs jusqu'à 20cm.

Il est très souvent utilisé pour la mesure de marche de résine pour contrôler l'uniformité du dépôt et vérifier le résultats de dépôt métallique et/ou de gravure.

Il est également possible de faire des mesures de rugosité (dans le domaine micrométrique) et des mesures de stress issu de l'ajout d'une couche sur un substrat.

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Tencor P17 is a mechanical profilometer for surface analysis. It can mesure thickness from nanometer scale to 300µm.

The principal use is the measure of resist thickness for uniformity control and verify the result of a metallic deposit or/and etching step.

It is also possible to measure rugosity (micrometric scale) and differential stress from a deposit layer on subtrate.