Four de recuits métaux divers 4" et 6" excepté Au et Cu sur Si.
Annealing metals furnace excepted Au and Cu on 4" and 6" Si wafers.
Tempéraure de 100°C à 500°C sous N2 et N2/H2.
Temperature between 100°C up to 500°C under N2 and N2/H2.