La plaque chauffante SAWATEC HP-401-Z a été développée pour les procédés standard de cuisson au four et de cuisson dure en lithographie et applications similaires. Le système de chauffage multi-zones (16 zones) assure une distribution de température très élevée, réglable pour chaque zone. La plage de température est conçue de manière standard jusqu'à 300 ° C.

La HP-401-Z offre une très grande uniformité et une répétabilité du processus et peut être utilisée pour des substrats jusqu'à 300 mm. La plaque chauffante est livrée en standard avec des broches de proximité et des broches de chargement, permettant le traitement simultané de cinq substrats (jusqu'à 100 mm).

The SAWATEC HP-401-Z hotplate has been developed for standard soft bake and hard bake processes in lithography and similar applications. The multi-zone heating system (16 zones) ensures very high temperature distribution, which is adjustable for each zone.

The temperature range is designed as standard up to 300° C. The HP-401-Z offers very high uniformity and process repeatability and can be used for substrates up to 300mm. The hotplate comes as standard with proximity pins and loading pins, allowing simultaneous processing of five substrates (up to 100mm).