Poste sécurisé qui permet le nettoyage, la décontamination et le remontage des sources mécaniques de l'implanteur.
Protected station which allows cleaning, decontamination and reassembly of the implanter mechanical sources.
Le nettoyage et la décontamination des pièces mécaniques en inox des sources se fait par trempage dans une solution H2O2-H2SO4. Des récipients adaptés et remplis des réactifs nécessaires sont posés sur le poste. L’équipement est équipé d’un robinet d'eau désionisée pour rincer les pièces mécaniques de la source et dune soufflette d’azote pour les sécher. Le poste est situé sous flux laminaire, une visière intégrée au poste protège l’opérateur contre les projections et canalise le flux d’air. L’air usé est extrait par des ouvertures à l’avant, à l’arrière et au fond du poste.
The cleaning and the decontamination is done by soaking in a H2O2-H2SO4 solution of the inox mechanical parts of the sources. Containers adapted and filled of solvents are on the station The equipment is equipped with a tap deionized water to rinse mechanical parts of the source and with a nitrogen gun to dry them. The station is located under laminar flow; an integrated visor into the station protects the operator against projections and channels the airflow. The worn air is extracted through openings in the front, the back and the bottom of the station.