Ecriture directe sur échantillons de tailles comprises entre 2 et 150 mm
Insolation de résines positives (AZ, ECI, SPR,...), de résines négatives (SU8, BPN, Nlof, KCL,...), de films secs (DF, WBR,...) et polymides photosensibles
Direct writing on samples with sizes between 2 and 150 mm
Insolation of positive photoresists (AZ, ECI, SPR,...), negative photoresists (SU8, BPN, Nlof, KCL,...),dry sensitive films (DF, WBR,...) and polymide resins