Dépôt en évaporation sous vide par canon à électrons et par effet joule (6 creusets chacun). Le bâti est principalement utilisé les faibles épaisseurs et à faible vitesse (5-300 nm avec succès). Le bâti est dans une boite à gants sans oxygène pour éviter une contamination des susbstrats. La boite à gants permettra de travailler sans sortir les echantillons.
Le bâti peut acceuillir :
Vacuum evaporation deposit by electron gun and thermal evaporation (6 crucibles each). The frame is mainly used for lower thickness at low velocity (5-300 nm success). The system is in an oxygen-free glove box to prevent contamination of substrates. The glove box will allow to work without leaving the samples.
The system can accommodate:
- 1 substrates in 4 "format