Picture of Univex 450 Pulvérisation NoMOS (D-PRST)
Current status:
AVAILABLE
Book | Log
Show/Collapse all

1st Responsible:
2nd Responsible:
You must be logged in to view files.

Pulvérisation cathodique (sputtering)

Le principe de la pulvérisation cathodique est de créer un plasma d'un gaz neutre (Ar) sous faible pression entre deux éléctrodes dont l'une (l'anode) est à la masse, c'est le substrat et l'autre (la cathode) est à un potentiel fortement négatif, c'est la cible (matériau à déposer). La cible est bombardée par les ions positifs du plasma qui lui arracchent des molécules qui vont se déposer sur le substrat.

 

Cathodic sputtering

 
The principle of sputtering is create a plasma of a neutral gas (Ar) under low pressure between two electrodes of which one (the anode) is grounded, it is the substrate, and the other (the cathode) is at a strongly negative electro-potential, it is the target (material to be deposited). The target is bombarded by the positive ions of the plasma that snatch up molecules that will settle on the substrate.

 

Tool name:
Univex 450 Pulvérisation NoMOS (D-PRST)
Area/room:
PVD (Bât F)
Category:
PVD
Manufacturer:
Oerlikon
Model:
Univex 450C

Les substrats doivent être de format de quelques mm jusqu'a 6" et le bâti peut accepter jusqu'à 10 substrats.

Les différents matériaux sont :

  • Al, Au, Cr,Cu, Ni, Pt, Ta, W... (autres sur demande)
  • avec apport d'O2 : CuO...

 

Substrates should be from a few mm up to 6 "and the system can accept up to 10 substrates.

The different materials are:

  • Al, Au, Cr, Cu, Ni, Pt, Ta, W ... (others on request)
  • with O2 input gas : CuO ...

   

Instructors

Licensed Users

You must be logged in to view tool modes.