Picture of Profilomètre mécanique Tencor P16+
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Le Tencor P16+ est un profilomètre mécanique qui mesure le profil sur une surface. La gamme mesurable est comprise entre quelques dizaines de nanomètre et 300µm.

---English---

Tencor P16+ is a mechanical profilmeter for the measure the profil of your surface. The scale is from nanometer to 300µm.

Tool name:
Profilomètre mécanique Tencor P16+
Area/room:
Caractérisation / Characterization (bat G1)
Category:
Caractérisation / characterization
Manufacturer:
KLA Tencor
Model:
Tencor P16+
Max booking time, day:
4 hours
Max booking time, night:
4 hours
No. of future bookings:

Il est également possible de mesurer des contraintes à partir de la mesure de flêche différentiel d'un wafer dû au dépôt d'une couche. Il est possible de rentrer des échantillon jusqu'a 8".

---English---

It is possible to measure stress with a differential sweep-back measure of a wafer cause by a layer deposition. We can put 8" wafer inside the machine.

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