Picture of Profilomètre optique LEXT
Current status:
WARNING
Book | Log
Show/Collapse all

1st Responsible:
2nd Responsible:
You must be logged in to view files.

Le LEXT est un microscope optique confocal permettant la mesure des 3 dimensions XYZ. Il est équipé avec 5 objectifs (x5, x10, x20, x50, x100).

Il peux également possible de programmer un mapping d'un échantillon en 2 ou 3 dimensions.

---English---

LEXT is an confocal optical microscope to measure the 3 dimensions XYZ. It had 5 objectives (x5, x10, x20, x50, x100). It is also possibvle to program a mapping of our sample in 2 or 3 dimensions.

Tool name:
Profilomètre optique LEXT
Area/room:
Caractérisation / Characterization (bat G1)
Category:
Caractérisation / characterization
Manufacturer:
Olympus
Model:
OLS LEXT 3100
Max booking time, day:
4 hours
Max booking time, night:
4 hours
No. of future bookings:

Le microscope confocal est utilisé pour la mesure de côte latérale, d'épaisseur de couche transparente (en connaissant l'indice) et de marche. La résolution latérale est de 200nm en lumière bleu (laser) et de 10 nm en Z.

---English---

Confocal microscope allow to measure the lateral dimension, the tickness of a transparent layer and the step between two layers. The resolution is around 200nm on XY and 10nm on Z axis.

Instructors

Licensed Users

You must be logged in to view tool modes.