Picture of Profilomètre optique Wyko
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Le Wyko est un profilomètre optique interférométrique permettant d'accéder aux trois dimensions d'un objet. Il est donc d'en déduire sa rugosité et de faire des mesures de marche. Il est équipé de 3 objetifs (x5, x20, x50).

---English---

WYKO is an optical interferometric microscope to measure the 3 dimensions XYZ of an objet. It is possible to obtain the roughness or the thickness of step. It is equip with 3 objectives (x5, x20, x50). It is also possibvle to program a mapping of our sample in 3 dimensions.

Tool name:
Profilomètre optique Wyko
Area/room:
Caractérisation / Characterization (bat G1)
Category:
Caractérisation / characterization
Manufacturer:
VEECO
Model:
WYKO 3300
Max booking time, day:
4 hours
Max booking time, night:
4 hours
No. of future bookings:

Le microscope interférométrique Wyko est utilisé pour la mesure de côte latérale et de différence de marche. La résolution latérale est de 400nm et de 5 nm en Z (quelque soit le grandissement).

---English---

Wyko Interferometric microscope allow to measure the lateral dimension and the step between two layers. The resolution is around 400nm on XY and 5nm on Z axis (whatever the magnification).

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