Picture of FIB Dual Beam (C-FIB)
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L'Hélios 600i est un dual beam composé d'une colonne électronique à balayage haute résolution (FEG Schottky) et d'une colonne ionique (source LMIS Gallium).

Il permet de visualiser un composant, de l'analyser chimiquement (EDX), et également de réaliser des gravures localisées ou des dépôts localisés (Pt, C et SiO2).

---English---

HELIOS is a dual beam consist of a high resolution scanning electronic column (FEG Schottky) and an ionic column (Gallium LMIS).

It allow to image your component, to do chemical analysis with EDS and to etch and deposit material (Pt, C, SiO2).

Tool name:
FIB Dual Beam (C-FIB)
Area/room:
Caractérisation / Characterization (bat G1)
Category:
Caractérisation / characterization
Manufacturer:
FEI
Model:
Helios 600i
Max booking time, day:
4 hours
Max booking time, night:
4 hours
No. of future bookings:

3 utilisations courantes:

- imagerie avec le MEB haute résolution

- analyse chimique avec l'EDX

- dépôt /gravure avec le FIB

 

---English---

3 uses:

- imaging with high resolution SEM

- chemical analysis with EDS

-  deposit or etching with FIB

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