Picture of Polisseuse PM5 (A-POLI)
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Possibilités de rodage et polissage plans sur différents matériaux (Niobate de Lithium, Silicium, Quartz, PZT, Verre, Langasite … etc.). Le travail se fait sur des wafers ou collages de wafers d’une taille maximale de 4 pouces et d’épaisseur de 1 cm.
Par l’action d’abrasif à base d’alumine diluée pour l’amincissement ou de Silice Colloïdale pour le polissage, la polisseuse Logitech PM5 permet un contrôle en planéité et en épaisseur de bonne qualité.


Possibilités de rodage et polissage plans sur différents matériaux (Niobate de Lithium, Silicium, Quartz, PZT, Verre, Langasite … etc.). Le travail se fait sur des wafers ou collages de wafers d’une taille maximale de 4 pouces et d’épaisseur de 1 cm.
Par l’action d’abrasif à base d’alumine diluée pour l’amincissement ou de Silice Colloïdale pour le polissage, la polisseuse Logitech PM5 permet un contrôle en planéité et en épaisseur de bonne qualité.

 

 

 

Tool name:
Polisseuse PM5 (A-POLI)
Area/room:
Assemblage (Bât G)
Category:
Assemblage / Device mounting
Manufacturer:
Logitech
Model:
PM5
Max booking time, day:
6 hours
Max booking time, night:
6 hours
No. of future bookings:

Spécifications:

- Système d'alimentation automatique en abrasif
- Cylindre et mouvement excentrique de la fourche
- Maintien de l'échantillon par le vide
- Equipé d'une tête de rodage et polissage de précision PP6GT
- Diamètre du plateau : 30 cm
- Dimension max des wafers : 4 pouces
- Epaisseur max de l'échantillon : 10 mm
- Précision sur l'épaisseur : 5 µm
- Rugosité obtenue : de l'ordre du nanomètre
- Comparateur à aiguille indiquant la matière enlevée
- Contrôle automatique de la planéité

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