Picture of Résistivimètre automatique
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Le résistivimètre automatique permet de mesurer la résistance électrique d'un matèriau et d'en déduire sa résistivité en connaissant son épaisseur. Il est possible de réaliser une cartographie d'un wafer pour vérifier l'homogéité de celui-ci.

---English---

The automatic resistivimeter allow to measure the electric resistor of a material and to deduct the resistivity when we know the thickness of the sample. It is also possible to done a map of the wafer to analyse the homogeneity.

Tool name:
Résistivimètre automatique
Area/room:
Caractérisation / Characterization (bat G1)
Category:
Caractérisation / characterization
Manufacturer:
Changmin Tech
Model:
CMT-SR200
Max booking time, day:
4 hours
Max booking time, night:
4 hours
No. of future bookings:

Les gammes de courant accessible vont de 1nA à 100mA pour retrouver des résistances carrés pouvant aller de 1mΩ/sq à 200MΩ/sq. Il est possible de cartographier un wafer 8".

---English---

Current ragne from 1nA to 100mA to measure square resistance from 1mΩ/sq à 200MΩ/sq. It is possble to map a 8" wafer.

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