L'ellipsomètre Uvisel est un appareil de mesure optique pour trouver l'épaisseur (<1µm) et de l'indice de réfraction d'un matèriau dans la gamme 280-2200nm en longueur d'onde avec des angles variables (40 à 90°).

Il est également possible d'automatiser les mesures par la création de recettes pour cartographier un wafer complet.

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The Uvisel ellipsometer is a machine to done optical measurement for thin layer (<1µm) and fid the optical index of the material on the scale 280-2200nm in wavelength. It is possible to catography a wafer and do an automatic measure.