Picture of Ellipsomètre HJY (C-ELLI)
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L'ellipsomètre Uvisel est un appareil de mesure optique pour trouver l'épaisseur (<1µm) et de l'indice de réfraction d'un matèriau dans la gamme 280-2200nm en longueur d'onde avec des angles variables (40 à 90°).

Il est également possible d'automatiser les mesures par la création de recettes pour cartographier un wafer complet.

---English---

The Uvisel ellipsometer is a machine to done optical measurement for thin layer (<1µm) and fid the optical index of the material on the scale 280-2200nm in wavelength. It is possible to catography a wafer and do an automatic measure.

Tool name:
Ellipsomètre HJY (C-ELLI)
Area/room:
Caractérisation / Characterization (bat G1)
Category:
Caractérisation / characterization
Manufacturer:
Horiba Jobin Yvon
Model:
Uvisel
Max booking time, day:
6 hours
Max booking time, night:
6 hours
No. of future bookings:

Il est courament utilisé pour faire les mesures de couches d'oxyde ou de nitrure de silicium mais il est utilisable pour quasiment tout matèriau en couche mince. N'hésitez pas à demander pour la création de recette particulière à vos besoins.

---English---

Usually use to measure oxyde or nitride of silicon, we can use it to measure all the material in thin layer. Ask for specific recipe for your use.

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