hotte permettant le nettoyage de wafer dédiés au scellement par wafer bonding. elle comprend des bacs thermostaté de type SC1 et SC2, un bac HF ainsi que 2 bacs de rincages muni de résistivimètre.

hood for wafer cleaning dedicated to wafer bonding. it includes thermostatic tanks type SC1 and SC2, an HF tank and 2 rinsing tanks with resistivity meter.