(English)

ATTENTION :

• Zone NOMOS
• Dédiée pour les procédés nécessitant le moins de poussières possible : nano-impression et enduction d'échantillons … principalement !

Description:

• Flux laminaire vertical
• 2 générateurs pour la neutralisation des charges
• Évier avec compartiment de rinçage à débordement pour 1 plaque de 6"
• Eau désionisée :
  • 1 douchette
  • 1 robinet col de cygne
• Soufflette azote avec neutraliseur de charges

Equipements :

• Tournette Polos SPIN150i - compatible 6"
• Plaque chauffante avec aspiration - 240°C max - compatible 6".

Messages concernant la prévention et la sécurité :

• Port obligatoire de :
  • Lunettes de sécurité ou écran de protection
  • Gants adaptés
  • Capuche sur combinaison salle blanche

WARNING MESSAGES :

• NOMOS
• Dédiée pour les procédés nécessitant le moins de poussières possibles : nano-impression et enduction d'échantillons pour la lithographie électronique principalement
• Dedicated for processes needind a very low level of particles : nano-imprint processes and spin-coating … mainly !

Technical description:

• vertical laminar flow
• 2 charge neutralizer generators
• double sink : 1 slot for 6" wafer rinsing
• Deionized water :
  • 1 hand shower
  • 1 goose neck faucet
• Dry nitrogen blower with charge neutralizer generator

Equipments :

• Spin coater
• hot plate

Prevention and safety messages:

• compulsory:
  • safety glasses or screen
  • safety gloves
  • full jumpsuit (with hood)