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(English)

ATTENTION :

  • Zone NOMOS
  • Dédiée pour les procédés nécessitant le moins de poussières possible : nano-impression et enduction d'échantillons … principalement !

Description:

  • Flux laminaire vertical
  • 2 générateurs pour la neutralisation des charges
  • Évier avec compartiment de rinçage à débordement pour 1 plaque de 6"
  • Eau désionisée :
    • 1 douchette
    • 1 robinet col de cygne
  • Soufflette azote avec neutraliseur de charges

Equipements :

  • Tournette Polos SPIN150i - compatible 6"
  • Plaque chauffante avec aspiration - 240°C max - compatible 6".

Messages concernant la prévention et la sécurité :

  • Port obligatoire de :
    • Lunettes de sécurité ou écran de protection
    • Gants adaptés
    • Capuche sur combinaison salle blanche




WARNING MESSAGES :

  • NOMOS
  • Dédiée pour les procédés nécessitant le moins de poussières possibles : nano-impression et enduction d'échantillons pour la lithographie électronique principalement
  • Dedicated for processes needind a very low level of particles : nano-imprint processes and spin-coating … mainly !

Technical description:

  • vertical laminar flow
  • 2 charge neutralizer generators
  • double sink : 1 slot for 6" wafer rinsing
  • Deionized water :
    • 1 hand shower
    • 1 goose neck faucet
  • Dry nitrogen blower with charge neutralizer generator

Equipments :

  • Spin coater
  • hot plate

Prevention and safety messages:

  • compulsory:
    • safety glasses or screen
    • safety gloves
    • full jumpsuit (with hood)
Tool name:
Hotte nano
Area/room:
Nanolithographies (bat G1)
Category:
Nano imprint
Manufacturer:
DVTEch
Model:
Hotte nano
Max booking time, day:
5 hours
Max booking time, night:
0 hours
No. of future bookings:

NIL-UV135 thickness calibration curves

PMMA thickness calibration curves
 

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