Picture of TFE 644 Pulvérisation (D-SPUT)
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Le TFE 644 est un bâti de pulvérisation cathodique avec magnétron DC.

Ce bâti a été acquis pour la filière THERMIE.

L’objectif est le développement de briques technologiques multiples à partir de de la PVD permettant de proposer de nouvelles générations d’initiateurs pyrotechniques intégrés en rupture technologique avec les produits existants, c’est-à-dire miniatures, multifonctionnels avec la gestion multipoints, « intelligents », compétitifs, sécurisés et intégrant in situ (sans manipulation humaine) des nanomatériaux énergétiques compatibles « reach ».

 

TFE 644 is a sputtering system with DC magnetron source.

This system was acquired for the THERMIE sector.

The objective is the development of multiple technological bricks from PVD allowing to propose new generations of pyrotechnic initiators integrated in technological break with the existing products, that is to say, miniature, multifunctional with the multipoint management, "Smart", competitive, secure and integrating in situ (without human manipulation) energy nanomaterials compatible "reach".

 

 

Tool name:
TFE 644 Pulvérisation (D-SPUT)
Area/room:
PVD (Bât F)
Category:
PVD
Manufacturer:
Thin FIlm Equipment (TFE)
Model:
644
Max booking time, day:
10 hours
Max booking time, night:
10 hours
No. of future bookings:

Le bâti accepte les substrats aux format 4" et une palette peut utiliser 3 subtrats. On utiliser d'autres formats et il faudrait en discuter avec le personnel en charge du bâti.

Le bâti comprend 4 emplacement de cathode. Pour l'instant, seul deux emplacement sont utilisés.

  • Al
  • Cu avec possibilté de dépôt réactif avec gaz O2 et Ar

 

The frame accepts substrates in 4 "format and a pallet can use 3 substrates, other formats are used and it should be discussed with the staff in charge of the system.

The frame includes 4 cathode locations. For now, only two locations are used.

  • Al
  • Cu with reactive deposition possibility with O2 and Ar gas

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