Picture of Profilomètre mécanique Tencor P17
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Le Tencor P17 est un profilomètre mécanique pour l'analyse du profil d'une surface. Il permet de mesurer des épaisseurs allant de la dizaine de nanomètre à 300µm sur des longueurs jusqu'à 20cm.

Il est très souvent utilisé pour la mesure de marche de résine pour contrôler l'uniformité du dépôt et vérifier le résultats de dépôt métallique et/ou de gravure.

Il est également possible de faire des mesures de rugosité (dans le domaine micrométrique) et des mesures de stress issu de l'ajout d'une couche sur un substrat.

--- English ---

Tencor P17 is a mechanical profilometer for surface analysis. It can mesure thickness from nanometer scale to 300µm.

The principal use is the measure of resist thickness for uniformity control and verify the result of a metallic deposit or/and etching step.

It is also possible to measure rugosity (micrometric scale) and differential stress from a deposit layer on subtrate.

Tool name:
Profilomètre mécanique Tencor P17
Area/room:
Caractérisation / Characterization (bat G1)
Category:
Caractérisation / characterization
Manufacturer:
KLA Tencor
Model:
Tencor P17
Max booking time, day:
2 hours
Max booking time, night:
4 hours
No. of future bookings:

Mesure de marche: utilisation classique du nm à 160µm, possibilité de mesurer jusqu'à 400µm.

Mesure de stress: demander aux personnels TEAM en charge de l'écquipement

Mesure séquencielle: mesures automatiques. Demander aux personnels TEAM en charge de l'écquipement

---English---

Step measurement: typical use from nm to 160µm with higher possibility in some case.

Stress measurement: sweep back measurement of wafer stress, please ask for extra training to tool responsible.

Sequential measures: automatic measures . Please ask for extra training to tool responsible.

Instructors

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