MBE32P is a Molecular Beam Epitaxy system comprised of differents measurement tools, such as:
- bandiT,
- mass spectrometer,
- Auger electron spectrometer,
The MBE32 is running with 8 cells : Ga, In, Al, As, Bi, Be, Si, N/H
and allows 2"/3" wafers.
Le MBE32 P est un bâti d'épitaxie équipé de différents outils de caractérisation tels que :
- bandiT,
- mass spectrometer,
- Auger electron spectrometer,
Ce bâti est équipé de 8 cellules : Ga, In, Al, As, Bi, Be, Si, N/H
Il peut acceuillir des substrats 2" et 3" .