Picture of Plassys Organiques (D-EVAP)
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Dépôt en évaporation sous vide par canon à électrons et par effet joule (6 creusets chacun). Le bâti est principalement utilisé les faibles épaisseurs et à faible vitesse (5-300 nm avec succès). Le bâti est dans une boite à gants sans oxygène pour éviter une contamination des susbstrats. La boite à gants permettra de travailler sans sortir les echantillons.

Le bâti peut acceuillir :

  • 1 substrat en format 4"

Vacuum evaporation deposit by electron gun and thermal evaporation (6 crucibles each).  The frame is mainly used for lower thickness at low velocity (5-300 nm success).  The system is in an oxygen-free glove box to prevent contamination of substrates. The glove box will allow to work without leaving the samples.


The system can accommodate:

  • 1 substrates in 4 "format
Tool name:
Plassys Organiques (D-EVAP)
Area/room:
PVD (Bât F)
Category:
PVD
Manufacturer:
Plassys
Model:
MEB550B
Max booking time, day:
10 hours
Max booking time, night:
10 hours
No. of future bookings:

Il y a la possibilté de créer une ou plusieurs couches.

Les métaux utilisés dans ce bâti sont :

  • Ti, Au, Pd, Al, Pt, Cr, Ni, Co (Autres materiaux sur demande)
     

There is the possibility of creating one or more layers.

Metals used in this system are:

  • Ti, Au, Pd, Al, Pt, Cr, Ni, Co (Other materials on request)

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