Picture of Nano-imprint equipment (N-NEXT)
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C'est une machine d'impression qui permet de réaliser un vide suffisant entre le moule et le substrat, pour éviter les bulles éventuellement présentes, puis d’appliquer une pression constante et mesurable (de 0 à 450PSI), homogène durant toute la durée du cycle. Il est possible de programmer des « recettes » de procédés, les paramètres modifiables étant : la durée du vide, de l’impression, la température lors de celui-ci (NIL thermique de 20°C à 200°C) ou la durée d’insolation UV (UV-NIL de 0s à 2min59s).

Elle peut accueillir des échantillons allant jusqu'à 6"

Elle est également équipée d’un système d’alignement pour pouvoir aligner le moule sur le substrat.

It is a machine dedicated to imprint which allow a sufficient vacuum between the mold and the substrate, in order to avoid bubbles, and able to apply a constant and measurable pressure (from 0 to 450 PSI/31bars) homogeneous during process time. It is possible to program processes' "recipes" which parameters are: vacuum duration, imprint duration, temperature (for thermal imprint from 20°C to 200°C) or UV exposure time (UV-NIL from 0s to 2mn59s).

It can admit 6" samples

It is equipped with an alignment module in order to align the mold and the substrate

Tool name:
Nano-imprint equipment (N-NEXT)
Area/room:
Nanolithographies (bat G1)
Category:
Nano imprint
Manufacturer:
Nanonex
Model:
NX2500
Max booking time, day:
180 hours
Max booking time, night:
180 hours
No. of future bookings:

Instructors

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