Picture of AFM ICON (C-AFM)
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L'AFM ICON est un microscope à force atomique permettant l'analyse dimensionnelle de surface à l'échelle nanométrique. Il est utilisé couramment pour mesurer la rugosité et la topographie des structures réalisées dans la centrale technologique du LAAS.

---English---

ICON AFM is an atomic force microscope to enable the dimensionnal analysis at nanometric scale with a tip scanning the sample surface.

It is use to determine the roughness and the topography of the structure made on the clean room at LAAS.

Tool name:
AFM ICON (C-AFM)
Area/room:
Caractérisation / Characterization (bat G1)
Category:
Caractérisation / characterization
Manufacturer:
BRUKER
Model:
Dimension ICON
Max booking time, day:
5 hours
Max booking time, night:
5 hours
No. of future bookings:

Le mode Tapping, de loin le plus utilisé, consiste à faire vibrer le levier à sa fréquence propre de résonance (typiquement de l'ordre de la centaine de kHz), avec une certaine amplitude. Lorsque la pointe interagit avec la surface, l'amplitude décroît (parce que la fréquence de résonance change). La rétroaction se fait alors sur l'amplitude d'oscillation du levier. Lors du balayage, cette déviation permet de remonter aux valeurs de topographie de surface. Nous utilisons quotidiennement 2 types de pointes en mode tapping: Standard (Arrow NC) pour la plupart des applications et la Nano (AR5T-NCHR) pour des structures avec des dimensions critiques fines.

Le mode contact consiste à utiliser les forces répulsives : la pointe appuie sur la surface, elle est donc repoussée du fait du principe de Pauli, et le levier est dévié. La rétroaction s'effectue sur la mesure de la direction de la déviation. Nous utilisons généralement les pointes Contact (SNL) pour ce mode.

Les autres modes de fonctionnement sont directement dérivés de ces 2 modes.

 

---English---

There are 2 principal modes on AFM:

- tapping: a drive signal mechanically oscillates the probe (cantilever with a microfabricated sharp tip) at or near its resonance frequency. Detector signal is cantilever oscillation amplitude or phase. In feedback mode, output signal usually adjusts the Z position of the scanner to maintain an amplitude setpoint.

- contact: tip and surface are in perpetual contact during the scan. Detector signal is cantilever deflection in Z. In feedback mode, output signal usually adjusts the Z position of the scanner to maintain an deflection setpoint.

The others modes of operation are directly depending about this mode.

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